富沃多
和创业者一起成长

中国光刻机距离顶尖水平还有较大差距,刻蚀机与光刻机哪个厉害?

刻蚀机与光刻机哪个厉害?

ASML EUV光刻机1.2亿美金,蚀刻机应该也是在1千万的级别,难度差距不是一点点。

另外光刻机里面的光源系统,纯硬件水平要达到几个纳米,需要用到超高功率的激光才能实现,功耗水平很高,同时光源的均匀化需要很高的反射材料,对材料以及仪器的环境要求更高。

EUV光刻机的话,目前市场可以做到的也就是ASML,Nikon,Canon,其中ASML更是占到了8成的市场份额。

国内目前仍然是求着人家买光刻机的地位,7nm的光刻做出来的芯片产品,从ASML的布局看,已经是在为2030的下游产品布局的了。

老美也堵不住,国产芯片蚀刻机越来越先进,和光刻机一样重要

众所周知,光刻机是制造芯片的核心设备,少了它制造先进的芯片就会有难度。但是,还有人不知道,制造芯片的过程中,另一个关键设备-蚀刻机,也很重要。这个设备和光刻机一样重要,曾经也被老美“卡脖子”,如今老美也堵不住这项技术,国产蚀刻机越来越先进了。

中国光刻机距离顶尖水平还有较大差距,刻蚀机与光刻机哪个厉害? 1

为什么说它和光刻机一样重要?

蚀刻机是芯片制造环节必不可少的设备,主要体现在它在制造环节的投资设备占比大,以及其工作原理在制造环节的不可或缺性。

1、蚀刻设备在晶圆厂的投资占比

了解半导体的人都知道,光刻机是芯片制造过程的核心设备,也是最难的部分。蚀刻机的技术也许达不到光刻机那样难,但它也是芯片制造重要的一个环节,也是少不了的部分。

如果看晶圆厂在蚀刻和光刻设备上的投资比(非购买费用)的话,光刻设备投资占比约为25%,而刻蚀设备的占比也约为25%。也就是说,蚀刻机的重要性和光刻机的重要性,在晶圆厂的投资设备的占比差不多。

中国光刻机距离顶尖水平还有较大差距,刻蚀机与光刻机哪个厉害? 2

 

2、蚀刻机的工作内容

​蚀刻机主要由等离子体射频源、反应腔室和真空气路等组成,最主要的作用:光刻机把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上后,利用蚀刻机把不需要的地方给清除掉,只留下光刻过程中标注好的线路、图形等。

因此,在芯片制造环节中,光刻机完成了本身工作,就需要由蚀刻机来二次加工,形成一个完成的芯片制造工艺链。可以说,蚀刻机是光刻之后必不可少的设备,也是辅助光刻机工作的重要环节。

中国光刻机距离顶尖水平还有较大差距,刻蚀机与光刻机哪个厉害? 3

老美堵不住了

在半导体领域,像光刻机、刻蚀机、以及相关技术等,老美喜欢卡别人脖子。早在2015年以前,老美限制向国内出口等离子体刻蚀设备,也是为了阻止国内半导体企业的发展。

为了打破这一项技术被“卡脖子”问题,成立于2004年的中微半导体设备公司,开始着手研究蚀刻机,于2007年研发出第一代芯片蚀刻机,工作效率比外国顶尖产品还要高出30%。随着中微的技术不断地更新,2015年,其研发的等离子蚀刻机技术水平已达到世界先进水准,并且实现了量产,它的出现更是让全球蚀刻机降价。

2015年,老美看到国产的蚀刻机与世界先进水平相当,觉得再去禁售蚀刻机已经无意义。因此,2015年,老美商务部就取消了蚀刻机的禁售。

中国光刻机距离顶尖水平还有较大差距,刻蚀机与光刻机哪个厉害? 4

国产蚀刻机越来越先进

2015年,中微实现ICP等离子体刻蚀机的成功研发和量产后,该公司接连突破了28nm、22nm、​7nm的先进制程。

2018年,中微公司改进了PrimoAD-RIE(2011年研制)蚀刻设备,并进入了5nm生产线。2019年,中微公司实现5nm蚀刻机生产,其生产的5nm设备于2020年进入台积电生产线,并取得台积电的认证(认证其技术先进)。

中微公司从65nm蚀刻机开始,到14/10/7nm再到5nm工艺节点,一直保持着与世界先进水平。但这还不够,2021年,中微公司对外介绍CCP 刻蚀设备产品时,说到:“为 65 纳米到 5 纳米及更先进工艺的芯片制造提供创新的解决方案 ”。5nm以上先进工艺,就是3nm\\2nm等更高端的工艺节点了,这足以说明中微公司也已经在研制更高端的蚀刻机。

从2015年至今,国产蚀刻机越来越先进,在不断地创新和攻关,保持与世界水平同步的同时,更在追求领先世界的技术水平。

中国光刻机距离顶尖水平还有较大差距,刻蚀机与光刻机哪个厉害? 5

结束语

芯片是科技发展必不可少的部分,芯片制造工艺也是核心技术,是一个国家科技实力的表现。在整个产业里,国内很多技术都在逐一突破,甚至有的已经是国际先进水平。这些成就,都离不开国内科研人员的努力,也离不开一些愿意深入自研的科企,都是值得敬佩的。

所以说,如果有更多的科企加入到芯片产业链中,投入更多的研发,坚持自主研发,那么,国产芯片一定会更上一层楼。

​对此,你怎么看呢?

版权声明:本站文章及图片来自互联网及其他公众平台,版权归原作者,如有侵权请联系我们删除!
本文链接:https://fowodo.com/62928.html